Rozprašovací terče a odpařovací materiály
Materiály pro nanášení zahrnují rozprašovací terče, odpařovací materiály a zdroje odpařování. Naprašování je jednou z hlavních technik přípravy tenkovrstvých materiálů, která využívá ionty generované iontovými zdroji k vytvoření vysokorychlostních iontových paprsků zrychlenou agregací ve vakuu, bušením do pevného povrchu a podstupováním kinetické výměny energie, díky čemuž yard pevného povrchu opustí pevnou látku a uloží se na povrch substrátu. Bombardované pevné látky jsou surovinou pro nanesenou tenkou vrstvu metodou rozprašování, nazývanou rozprašovací terče. Vakuové odpařování je umístění obrobku a potahového materiálu, který má být pokoven, do vakuové místnosti, vakuování a následné zahřívání odpařovacího materiálu, který má být odpařen a uložen na povrchu obrobku. Použitý potahový materiál se nazývá odpařovací materiál.E FORUSpecializuje se na výrobu rozprašovacích terčů s vysokou hustotou, ultra vysokou čistotou (99,9 % až 99,9999 %) a dalších nanášecích materiálů pro všechny aplikace využívající technologii vakuového tavení/lití a izostatického lisování za tepla (HIP).
Více
