Код продукта : СТ-РЕ-5N-Cu
Мишень для напыления из рения (Re) представляет собой плоскую пластину или цилиндрическую форму, изготовленную из чистого металла рения или сплава рения, используемую для производства тонких пленок методом физического осаждения из газовой фазы (PVD), называемого распылением. Процесс распыления является широко используемым методом PVD в полупроводниковой, оптической и лакокрасочной промышленности.
Как правило, мишень для распыления рения изготавливается из порошка рения высокой чистоты, который формируется в виде твердого диска или цилиндра. Форма и размер мишени спроектированы в соответствии с камерой распыления и требованиями к осаждению. Мишень монтируется на катод и устанавливается в вакуумную камеру. Под действием электрического поля мишень подвергается бомбардировке ионами или атомами, генерируемыми источником плазмы. В результате целевой материал распыляется и осаждается на подложке, образуя пленку с тем же составом и свойствами, что и целевой материал.
Мишени для напыления рения обычно используются для нанесения тонких пленок с отличной адгезией и долговечностью, поскольку металл имеет высокую температуру плавления, высокое удельное сопротивление и хорошую химическую стабильность. Они также используются в производстве источников термического испарения или в качестве компонента жаропрочных сплавов, нагревательных элементов и электрических контактов.
Пожалуйста, свяжитесь с нами, если вам нужны индивидуальные услуги. Мы свяжемся с вами по поводу цены и наличия в течение 24 часов.
| Продукт | Код товара | Чистота | Размер | Свяжитесь с нами |
| Мишень для распыления рения (Re) | СТ-РЕ-2N-Cu | 99% | Настроить | |
| Мишень для распыления рения (Re) | СТ-РЕ-3N-Cu | 99.9% | Настроить | |
| Мишень для распыления рения (Re) | СТ-РЕ-4N-Cu | 99.99% | Настроить | |
| Мишень для распыления рения (Re) | СТ-РЕ-5N-Cu | 99.999% | Настроить |
Информация о продукте
Мишень для напыления из рения (Re) представляет собой плоскую пластину или цилиндрическую форму, изготовленную из чистого металла рения или сплава рения, используемую для производства тонких пленок методом физического осаждения из газовой фазы (PVD), называемого распылением. Процесс распыления является широко используемым методом PVD в полупроводниковой, оптической и лакокрасочной промышленности.
Как правило, мишень для распыления рения изготавливается из порошка рения высокой чистоты, который формируется в виде твердого диска или цилиндра. Форма и размер мишени спроектированы в соответствии с камерой распыления и требованиями к осаждению. Мишень монтируется на катод и устанавливается в вакуумную камеру. Под действием электрического поля мишень подвергается бомбардировке ионами или атомами, генерируемыми источником плазмы. В результате целевой материал распыляется и осаждается на подложке, образуя пленку с тем же составом и свойствами, что и целевой материал.
Мишени для напыления рения обычно используются для нанесения тонких пленок с отличной адгезией и долговечностью, поскольку металл имеет высокую температуру плавления, высокое удельное сопротивление и хорошую химическую стабильность. Они также используются в производстве источников термического испарения или в качестве компонента жаропрочных сплавов, нагревательных элементов и электрических контактов.
Химическая формула:Ре
Номер CAS:7440-15-5
Синонимы
Н/Д
Спецификация мишени для распыления рения (Re)
Форма: Дисковая / Прямоугольная / Трубка
Склеивание: Открепление/Склеивание
По вашему запросу или чертежу
Мы можем настроить по мере необходимости
Размер:
| Мишени для кругового распыления | Диаметр | 1,0"2,0"3,0"4,0"5,0"6,0"до 21" |
| Прямоугольные мишени для распыления | Ширина x Длина | 5 дюймов x 12 дюймов 5 дюймов x 15 дюймов 5 дюймов x 20 дюймов 5 дюймов x 22 дюйма 6 дюймов x 20 дюймов |
| Толщина | 0.125”, 0.25” | |
Свойства (теоретические)
| Молекулярная масса | 186.21 |
| Внешность | Серебристо-серый |
| Точка плавления | 3180 °C |
| Точка кипения | 5627 °C |
| Плотность | 21,02 г/куб. см |
| Растворимость в H2O | Н/Д |
| Удельное электрическое сопротивление | 19,3 мкГм-см @ 20 °C |
| Электроотрицательность | 1.9 Полинги |
| Теплота испарения | 152 Ккал/г атома при 5627 °C |
| Коэффициент Пуассона | 0.3 |
| Удельная теплоёмкость | 0,0329 кал/г/К @ 25 °C |
| Прочность на разрыв | 80 000 фунтов/кв. дюйм |
| Теплопроводность | 0,480 Вт/см/К @298,2 К |
| Тепловое расширение | 6,2 мкм/(м·К) |
| Твердость по Виккерсу | 2450 МПа |
| Модуль Юнга | 463 ГПа |
Требования к мишеням для распыления
Общие требования, такие как размер, плоскостность, чистота, содержание примесей, плотность, N/O/C/S, размер зерна и контроль дефектов. К специальным требованиям относятся шероховатость поверхности, значение сопротивления, однородность размера зерна, однородность состава и ткани, магнитная проводимость, сверхвысокая плотность, ультратонкие зерна и т. д.
Применение мишени для распыления на основе рения (Re)
Мишень для распыления рения (Re) в основном используется в электронной и информационной промышленности, области нанесения покрытий на стекло, износостойких материалов, высокотемпературной коррозионной стойкости, высококачественных декоративных изделий и других отраслях промышленности.
Упаковка мишени для распыления рения (Re)
Стандартная упаковка:
Типичная оптовая упаковка включает в себя паллетированный пластик 5 галлонов/25 кг. ведра, бочки с фиброй и сталью до 1 тонны супермешков в полных контейнерах (FCL) или грузовиках (T/L). Исследуемые и отобранные количества, а также гигроскопичные, окисляющие или другие чувствительные к воздуху материалы могут быть упакованы в условиях аргона или вакуума. Растворы упаковываются в полипропиленовые, пластиковые или стеклянные банки объемом до 440 галлонов для жидкости на поддонах Специальная упаковка доступна по запросу.
Мишень для распыления рения (Re) E FORUs' бережно обращается, чтобы свести к минимуму повреждения при хранении и транспортировке и сохранить качество нашей продукции в ее первоначальном состоянии.
Химические идентификаторы
| Линейная формула | Ре |
| Номер MDL | MFCD00011195 |
| EC No. | 231-124-5 |
| Beilstein/Reaxys No. | Н/Д |
| Pubchem CID | 23947 |
| УЛЫБКИ | [Пере] |
| Идентификатор InchI | InChI=1S/Re |
| Клавиша InchI | WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N |