Мишень для распыления нитрида тантала (TaN)

Информация об изделиях

Мишени для распыления из нитрида тантала (TaN) представляют собой материалы высокой чистоты, используемые в процессах тонкопленочного осаждения. Эти мишени изготовлены из нитрида тантала, соединения, которое обеспечивает превосходную электропроводность, термическую стабильность и высокую температуру плавления. Мишени для распыления TaN используются для нанесения тонких пленок TaN на такие подложки, как кремний, стекло и металл.

TaN широко используется в различных приложениях, включая межблочные соединения интегральных схем, затворные электроды и тонкопленочные резисторы. Он также широко используется в качестве диффузионного барьерного материала благодаря хорошей адгезии к меди.

Мишени для распыления TaN могут быть изготовлены с использованием горячего прессования, горячего изостатического прессования или холодного изостатического прессования. Чистота целевого материала TaN может варьироваться от 99,9% до 99,999%, при этом цели с более высокой чистотой стоят дороже. Эти мишени обычно приклеиваются к медной или алюминиевой опорной пластине с использованием индия.

Химическая формула:Загар
Номер CAS:12033-62-4

Синонимы

Мононитрид тантала, Азанилидинетанталум, Нитридотанталум, Нитрилотанталум

Спецификация мишени для распыления нитрида тантала (TaN)

Форма: Дисковая / Прямоугольная / Трубка

Склеивание: Открепление/Склеивание

По вашему запросу или чертежу

Мы можем настроить по мере необходимости

Размер:

Свойства (теоретические)

Требования к мишеням для распыления

Общие требования, такие как размер, плоскостность, чистота, содержание примесей, плотность, N/O/C/S, размер зерна и контроль дефектов. К специальным требованиям относятся шероховатость поверхности, значение сопротивления, однородность размера зерна, однородность состава и ткани, магнитная проводимость, сверхвысокая плотность, ультратонкие зерна и т. д.

Применение мишени для распыления нитрида тантала (TaN)

Мишень для распыления нитрида тантала (TaN) в основном используется в электронной и информационной промышленности, области нанесения покрытий на стекло, износостойких материалов, высокотемпературной коррозионной стойкости, высококачественных декоративных изделий и других отраслях промышленности.

Упаковка мишени для распыления нитрида тантала (TaN)

Стандартная упаковка:

Типичная оптовая упаковка включает в себя паллетированный пластик 5 галлонов/25 кг. ведра, бочки с фиброй и сталью до 1 тонны супермешков в полных контейнерах (FCL) или грузовиках (T/L). Исследуемые и отобранные количества, а также гигроскопичные, окисляющие или другие чувствительные к воздуху материалы могут быть упакованы в условиях аргона или вакуума. Растворы упаковываются в полипропиленовые, пластиковые или стеклянные банки объемом до 440 галлонов для жидкости на поддонах Специальная упаковка доступна по запросу.

Мишень для распыления нитрида тантала (TaN) от E FORUs бережно обращается, чтобы свести к минимуму повреждения при хранении и транспортировке и сохранить качество нашей продукции в ее первоначальном состоянии.

Химические идентификаторы